精密研磨

サービスの概要

次世代の半導体・液晶などの製造装置ガス供給システムにおいて、超高純度ガスの純度を下げることなくユースポイントに送るために精密研磨技術を用いて、超清浄な表面状態を実現する事に貢献しております。

最終の精密洗浄はクラス100の環境です。

半導体製造分野における精密研磨実績

  • 超高純度ガス供給系
  • 超純水供給系
  • 真空装置部材
  • その他

対象品目(精密研磨・精密洗浄技術)

  • 材質:ステンレス、アルミ、石英 他
  • 高純度ガス供給系部材:継ぎ手、フィルター、バルブ、流量計、減圧弁 他
  • 真空チャンバー
  • 超精密平面研磨(ラップ研磨)