デポの密着性の向上を図るため、シールド表面にブラスト、溶射等の表面処理は欠かせません。しかし、ブラスト処理を行ったシールドは、通常洗浄を行ってもブラスト材が表面に残留(突き刺さり)し、異物となります。また、溶射皮膜表面では、(未溶融粒子等による)異常突起を除去することができませんでした。 NEO処理は、超音波洗浄を工夫することにより、従来は除去が困難であった異物の除去効果を向上させ、初期ダストはもちろん、成膜プロセス中の異物低下を可能にしました。
ブラスト表面処理-残留ブラストメディアの除去 EDX元素分布マッピング(SUS/ブラスト図中赤色) | ||
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リファレンス | 従来処理 | NEO処理 |
アルマイト
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