精密洗浄

サービスの概要

半導体・液晶などの最先端産業の技術は日々向上しております。
ネオスの精密洗浄はそのような微細化技術に必要なパーティクル、コンタミの低減を実現して参りました。
これからも、お客様のどのような要望にも精密洗浄・表面処理技術の開発をもってお応えします。

洗浄設備

  • Cu汚染防止のために、完全隔離の洗浄ラインを2系統保有しております。
  • クラス100~1,000のクリーンルームで仕上げます。

精密洗浄対象メニュー

  • スパッタリング装置内部部品
  • CVD装置内部部品
  • ドライエッチング装置内部部品
  • レジストコーターカップ
  • イオン注入装置部品
  • その他

現地洗浄(フィールドメンテナンス)

半導体・液晶・PDP関連の製造装置の取り外し出来ない設備に対し、クリーンルーム内へ洗浄機材を持ち込み、作業を行います。

  • 冷却水ライン
  • その他

オリジナル部品製作

改造などご要望にお応えします。