半導体・液晶などの最先端産業の技術は日々向上しております。
ネオスの精密洗浄はそのような微細化技術に必要なパーティクル、コンタミの低減を実現して参りました。
これからも、お客様のどのような要望にも精密洗浄・表面処理技術の開発をもってお応えします。
- Cu汚染防止のために、完全隔離の洗浄ラインを2系統保有しております。
- クラス100〜1,000のクリーンルームで仕上げます。
- スパッタリング装置内部部品
- CVD装置内部部品
- ドライエッチング装置内部部品
- レジストコーターカップ
- イオン注入装置部品
- その他
お客様の工場内で洗浄いたします。
- 冷却水ライン
- 排気ライン
- その他
改造などご要望にお応えします。
