次世代の半導体・液晶などの製造装置ガス供給システムにおいて、超高純度ガスの純度を下げることなくユースポイントに送るために精密研磨・CRP処理技術　を用いて、超清浄な表面状態を実現する事に貢献しております。

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• 超純水供給系
• 真空装置部材
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• 材質：ステンレス、アルミ、石英　他
• 高純度ガス供給系部材：継ぎ手、フィルター、バルブ、流量計、減圧弁　他
• 真空チャンバー
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